蒸汽渗透或称汽体渗透(Vapour Permeation)是膜分离技术的一个重要分支，其原理是以浓度差、分压差为推动力，利用气体混合物各组分通过致密膜的溶解与扩散速率不同而使混合物分离，从而实现组分浓缩、富集、纯化的目标。
膜法去挥发性有机物(Volatile Organic Compounds,缩写VOCs)与空气或其它不凝气的分离过程属于蒸透过程， VOCs气体比不凝气通过膜的速率要大得多，在膜的渗透侧，VOCs(包括二氯甲烷等含卤废气)气体得以冷凝回收；在膜的渗余侧是含微量VOCs 的不凝气，此过程一次性VOCs回收率在95到98%。
